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硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元出版社：电子工业
丛书项：集成电路系列丛书
随着MEMS技术的不断成熟和全面走向应用，MEMS 芯片的量产问题变得越来越重要。显然MEMS芯片的量产必须在集成电路生产线上进行，但是MEMS芯片制造与集成电路制造相比有明显不同，这使得集成电路生产线在转型制造MEMS芯片时会遇到一些特殊的工艺问题。本书主要围绕如何利用集成电路平面工艺制造三维微机械结构，进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造，系统介绍了硅基MEMS芯片制造技术。由于MEMS涉及学科较多，为了让不同学科背景的人能够快速读懂本书，本书先对MEMS的来龙去脉及MEMS出现的原因进行了简单介绍，然后详细介绍了相关内容，尽量做到通俗易懂。希望读者通过本书能全面了解硅基MEMS芯片制造技术，为从事与MEMS相关的工作打下基础。本书适合从事MEMS芯片研发的科技人员阅读使用，也可作为高等学校相关专业的教学用书。
售价：55.20

液压多路阀原理及应用实例/液压气动经典图书元件系列
所属分类：工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表作者：编者:吴晓明|责编:张秀恩//刘本明出版社：机械工业
丛书项：液压气动经典图书元件系列
本书系燕山大学吴晓明教授总结多年的教学与科研实践经验，从工程应用出发，编著的一本多路阀技术书籍。其主要内容包括：液压基础知识；多路阀技术基础；多路阀的结构组成；常用多路阀控制回路；典型多路阀的结构和工作原理；多路阀的维护、保养和故障排除；多路阀在液压挖掘机上的应用。本书适合液压专业的科研人员，设计、制造调试和使用维护部门的工程技术人员，工程机械现场工作人员，大专院校有关专业师生使用。
售价：35.60