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  • 硅基MEMS製造技術(精)/集成電路系列叢書

  • 所属分类：工業技術>>機械儀錶武器>>機械、儀錶     作者：編者:王躍林//吳國強|責編:張劍//柴燕|總主編:王陽元     出版社：電子工業
  • 丛书项：集成電路系列叢書
  •     隨著MEMS技術的不斷成 熟和全面走嚮應用，MEMS 晶元的量產問題變得越來越 重要。顯然MEMS晶元的量 產必須在集成電路生產線上 進行，但是MEMS晶元製造 與集成電路製造相比有明顯 不同，這使得集成電路生產 線在轉型製造MEMS晶元時 會遇到一些特殊的工藝問題 。本書主要圍繞如何利用集 成電路平面工藝製造三維微 機械結構，進而實現硅基 MEMS晶元的批量製造，系 統介紹了硅基MEMS晶元制 造技術。由於MEMS涉及學 科較多，為了讓不同學科背 景的人能夠快速讀懂本書， 本書先對MEMS的來龍去脈 及MEMS出現的原因進行了 簡單介紹，然後詳細介紹了 相關內容，盡量做到通俗易 懂。希望讀者通過本書能全 面了解硅基MEMS晶元製造 技術，為從事與MEMS相關 的工作打下基礎。 本書適合從事MEMS晶元 研發的科技人員閱讀使用， 也可作為高等學校相關專業 的教學用書。
  • 人民幣：RMB 138.00 元     售价：NT$ 552.00 元
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