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硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书
所属分类:
工业技术
>>
机械仪表武器
>>
机械、仪表
作者:
编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元
出版社:
电子工业
丛书项:
集成电路系列丛书
随着MEMS技术的不断成 熟和全面走向应用,MEMS 芯片的量产问题变得越来越 重要。显然MEMS芯片的量 产必须在集成电路生产线上 进行,但是MEMS芯片制造 与集成电路制造相比有明显 不同,这使得集成电路生产 线在转型制造MEMS芯片时 会遇到一些特殊的工艺问题 。本书主要围绕如何利用集 成电路平面工艺制造三维微 机械结构,进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造,系 统介绍了硅基MEMS芯片制 造技术。由于MEMS涉及学 科较多,为了让不同学科背 景的人能够快速读懂本书, 本书先对MEMS的来龙去脉 及MEMS出现的原因进行了 简单介绍,然后详细介绍了 相关内容,尽量做到通俗易 懂。希望读者通过本书能全 面了解硅基MEMS芯片制造 技术,为从事与MEMS相关 的工作打下基础。 本书适合从事MEMS芯片 研发的科技人员阅读使用, 也可作为高等学校相关专业 的教学用书。
人民币:
RMB 138.00
元 售价:
NT$ 552.00
元
常见液压系统回路解析及工程案例
所属分类:
工业技术
>>
机械仪表武器
>>
机械、仪表
作者:
孟庆云|责编:廉静
出版社:
化学工业
全书涉及20个行业领域 的液压系统应用案例,采用 逐个回路剖析方式,将复杂 工程回路简化为液压基本回 路,通过回路讲解,化繁为 简,利于初学者学习提高。 主要内容包括:数控车床液 压系统、通用液压机液压系 统、自卸汽车液压系统、垃 圾车液压系统、注塑机液压 系统、液压叉车液压系统、 多缸顺序专用铣床液压系统 、乐池升降平台液压系统、 卧式镗铣加工中心液压系统 、起货机的液压系统、折弯 机液压系统、扫路车液压系 统、打捆机液压系统、飞机 起落架液压系统、剪板机液 压系统、机械手液压系统、 C型翻车机液压系统、采煤 机液压系统、电弧炼钢炉液 压系统、推土机液压系统。 本书可供机械相关行业 的液压科研人员、技术人员 和设计人员阅读使用,也可 供高等院校的相关专业师生 学习和参考。
人民币:
RMB 59.80
元 售价:
NT$ 239.20
元
液压多路阀原理及应用实例/液压气动经典图书元件系列
所属分类:
工业技术
>>
机械仪表武器
>>
机械、仪表
作者:
编者:吴晓明|责编:张秀恩//刘本明
出版社:
机械工业
丛书项:
液压气动经典图书元件系列
本书系燕山大学吴晓 明教授总结多年的教学与 科研实践经验,从工程应 用出发,编著的一本多路 阀技术书籍。其主要内容 包括:液压基础知识;多 路阀技术基础;多路阀的 结构组成;常用多路阀控 制回路;典型多路阀的结 构和工作原理;多路阀的 维护、保养和故障排除; 多路阀在液压挖掘机上的 应用。 本书适合液压专业的 科研人员,设计、制造调 试和使用维护部门的工程 技术人员,工程机械现场 工作人员,大专院校有关 专业师生使用。
人民币:
RMB 89.00
元 售价:
NT$ 356.00
元
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