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  • 硅基MEMS制造技术(精)/集成电路系列丛书

  • 所属分类:工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表     作者:编者:王跃林//吴国强|责编:张剑//柴燕|总主编:王阳元     出版社:电子工业
  • 丛书项:集成电路系列丛书
  •     随着MEMS技术的不断成 熟和全面走向应用,MEMS 芯片的量产问题变得越来越 重要。显然MEMS芯片的量 产必须在集成电路生产线上 进行,但是MEMS芯片制造 与集成电路制造相比有明显 不同,这使得集成电路生产 线在转型制造MEMS芯片时 会遇到一些特殊的工艺问题 。本书主要围绕如何利用集 成电路平面工艺制造三维微 机械结构,进而实现硅基 MEMS芯片的批量制造,系 统介绍了硅基MEMS芯片制 造技术。由于MEMS涉及学 科较多,为了让不同学科背 景的人能够快速读懂本书, 本书先对MEMS的来龙去脉 及MEMS出现的原因进行了 简单介绍,然后详细介绍了 相关内容,尽量做到通俗易 懂。希望读者通过本书能全 面了解硅基MEMS芯片制造 技术,为从事与MEMS相关 的工作打下基础。 本书适合从事MEMS芯片 研发的科技人员阅读使用, 也可作为高等学校相关专业 的教学用书。
  • 人民币:RMB 138.00 元     售价:NT$ 552.00
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  • 常见液压系统回路解析及工程案例

  • 所属分类:工业技术>>机械仪表武器>>机械、仪表     作者:孟庆云|责编:廉静     出版社:化学工业
  •     全书涉及20个行业领域 的液压系统应用案例,采用 逐个回路剖析方式,将复杂 工程回路简化为液压基本回 路,通过回路讲解,化繁为 简,利于初学者学习提高。 主要内容包括:数控车床液 压系统、通用液压机液压系 统、自卸汽车液压系统、垃 圾车液压系统、注塑机液压 系统、液压叉车液压系统、 多缸顺序专用铣床液压系统 、乐池升降平台液压系统、 卧式镗铣加工中心液压系统 、起货机的液压系统、折弯 机液压系统、扫路车液压系 统、打捆机液压系统、飞机 起落架液压系统、剪板机液 压系统、机械手液压系统、 C型翻车机液压系统、采煤 机液压系统、电弧炼钢炉液 压系统、推土机液压系统。 本书可供机械相关行业 的液压科研人员、技术人员 和设计人员阅读使用,也可 供高等院校的相关专业师生 学习和参考。
  • 人民币:RMB 59.80 元     售价:NT$ 239.20
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