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  • 聚焦离子束--应用与实践

  • 所属分类:工业技术>>动力工程原子能>>原子能     作者:邓昱//魏大庆//王英//陈振|责编:巩奚若     出版社:南京大学
  •     本书力求从简要、易懂 、可操作性强的角度出发, 概述FIB的工作原理,清晰 介绍FIB诱导沉积、溅射刻 蚀过程及重要控制参数;详 细说明FIB的离子注入和离 子束曝光过程以及主要影响 参数;从实际工作角度出发 ,示例说明FIB样品前后处 理的过程和注意要点;详细 介绍离子束在集成电路中的 应用,以及联合其他显微分 析设备开展微观材料、器件 剖析的步骤过程。本书提供 了大量鲜活案例,主要为编 者及其团队的真实实验结果 ,凝聚了编者们技术探索的 经验总结,具有较强的典型 性和参考性。
  • 人民币:RMB 68.00 元     售价:NT$ 272.00
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