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  • 一本书读懂芯片制程设备/集成电路科学与技术丛书

  • 所属分类:电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯     作者:编者:王超//姜晶//牛夷//王刚|责编:汤枫//韩静     出版社:机械工业
  • 丛书项:集成电路科学与技术丛书
  •     本书是围绕集成电路芯 片发展和新一代信息产业技 术领域(集成电路及专用设 备)等重大需求,编著的集 成电路芯片制程设备通识书 籍。 集成电路芯片作为信息 时代的基石,是各国竞相角 逐的“国之重器”,也是一个 国家高端制造能力的综合体 现。芯片制程设备位于集成 电路产业链的最上游,贯穿 芯片制造全过程,是决定产 业发展的最关键一环。本书 首先介绍了集成电路芯片制 程及其设备,并着重分析了 芯片制程设备的国内外市场 环境;然后,针对具体工艺 技术涉及的设备,详细综述 了设备原理及市场情况;最 后对我国集成电路芯片制程 设备的发展做了总结展望。 本书可为制造业企业和 研究机构提供参考,也可供 对集成电路芯片制程设备感 兴趣的读者阅读。
  • 人民币:RMB 99.00 元     售价:NT$ 396.00
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  • 半导体芯片和制造(理论和工艺实用指南)/集成电路科学与工程丛书

  • 所属分类:电子电脑>>电工无线电自动化>>无线电电子.电讯     作者:(美)廉亚光|责编:刘星宁|译者:师静     出版社:机械工业
  • 丛书项:集成电路科学与工程丛书
  •     本书是一本实用而先进 的关于半导体芯片理论、制 造和工艺设计的书籍。本书 对半导体制造工艺和所需设 备的解释是基于它们所遵守 的基本的物理、化学和电路 的规律来进行的,以便读者 无论到达世界哪个地方的洁 净室,都能尽快了解所使用 的工艺和设备,并知道使用 哪些设备、采用何种工艺来 实现他们的设计和制造目标 。本书理论结合实际,大部 分的描述均围绕着实际设备 和工艺展开,并配有大量的 设备图、制造工艺示意图和 半导体芯片结构图。本书主 要包括如下主题:基本概念 ,例如等离子设备中的阻抗 失配和理论,以及能带和 Clausius-Clapeyron方程; 半导体器件和制造设备的基 础知识,包括直流和交流电 路、电场、磁场、谐振腔以 及器件和设备中使用的部件 ;晶体管和集成电路,包括 双极型晶体管、结型场效应 晶体管和金属一半导体场效 应晶体管;芯片制造的主要 工艺,包括光刻、金属化、 反应离子刻蚀(RIE)、等 离子体增强化学气相沉积( PECVD)、热氧化和注入等 ;工艺设计和解决问题的技 巧,例如如何设计干法刻蚀 配方,以及如何解决在博世 工艺中出现的微米草问题。 本书概念清晰,资料丰 富,内容先进,可作为微电 子学与固体电子学、电子科 学与技术、集成电路工程等 专业的研究生和高年级本科 生的教学参考书,也可供相 关领域的工程技术人员参考 。
  • 人民币:RMB 99.00 元     售价:NT$ 396.00
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