导语

  

内容提要

  

    《薄膜物理与技术》主要阐述了薄膜物理与薄膜技术的基础理论知识，重点讲述了薄膜生长基础，薄膜生长技术，包括蒸发、溅射、离子镀、化学气相沉积、原子层沉积、化学溶液沉积以及纳米薄膜组装等，并对薄膜的基本性质及与光、电相关的一些薄膜材料进行了介绍。
    本书可作为高等学校材料科学与工程、电子科学与技术、微电子、光学等专业的本科生或研究生的教材或教学参考书，也可供从事相关行业的工程技术人员参考使用。

第1章  薄膜生长基础
  1.1  概述
  1.2  薄膜生长过程
    1.2.1  薄膜生长的类型
    1.2.2  薄膜生长的三种机制
  1.3  薄膜生长理论
    1.3.1  热力学界面能理论
    1.3.2  原子聚集理论
  1.4  薄膜结构
    1.4.1  薄膜结构与缺陷
    1.4.2  结构区域模型
  思考题
第2章  蒸发镀膜
  2.1  蒸发原理
    2.1.1  蒸发特性
    2.1.2  合金与化合物的蒸发
    2.1.3  薄膜厚度的均匀性
    2.1.4  蒸发源与电阻蒸发
  2.2  电子束蒸发
    2.2.1  电子束加热原理
    2.2.2  电子束蒸发源
    2.2.3  特殊电子束蒸发
  2.3  激光蒸发
    2.3.1  激光蒸发基本原理
    2.3.2  脉冲激光烧蚀
  2.4  分子束外延
    2.4.1  外延生长概述
    2.4.2  分子束外延生长
  思考题
第3章  溅射镀膜
  3.1  溅射原理和特性
    3.1.1  溅射原理
    3.1.2  溅射产额
    3.1.3  溅射特性
    3.1.4  合金与化合物的溅射
  3.2  直流溅射
    3.2.1  二极溅射
    3.2.2  三极溅射和四极溅射
  3.3  射频溅射
  3.4  磁控溅射
    3.4.1  磁控溅射原理与特点
    3.4.2  磁控溅射设备
  3.5  反应溅射
  3.6  中频溅射
  思考题
第4章  离子镀与离子束沉积
  4.1  离子镀原理
  4.2  活化反应蒸发
  4.3  阴极电弧等离子体沉积
  4.4  离子束沉积
    4.4.1  直接引出式离子束沉积
    4.4.2  质量分离式离子束沉积
    4.4.3  离化团束沉积
    4.4.4  离子束辅助沉积
    4.4.5  离子束溅射
  思考题
第5章  化学气相沉积
  5.1  化学气相沉积原理
  5.2  热化学气相沉积
    5.2.1  常压化学气相沉积
    5.2.2  低压化学气相沉积
  5.3  等离子体增强化学气相沉积
  5.4  光化学气相沉积
  5.5  金属有机化学气相沉积
  思考题
第6章  原子层沉积
  6.1  原子层沉积的过程和特点
    6.1.1  原子层沉积过程
    6.1.2  原子层沉积特点
    6.1.3  影响原子层沉积生长速率的因素
  6.2  热原子层沉积
    6.2.1  氧化物沉积
    6.2.2  半导体沉积
  6.3  空间原子层沉积
  6.4  电化学原子层沉积
  6.5  等离子体增强原子层沉积
    6.5.1  等离子体增强原子层沉积的反应
    6.5.2  等离子体增强原子层沉积的分类与特点
  思考题
第7章  其它薄膜沉积技术
  7.1  化学溶液沉积法
    7.1.1  电镀
    7.1.2  化学镀
    7.1.3  阳极氧化
    7.1.4  液相外延
    7.1.5  喷雾热解
  7.2  LB薄膜法
    7.2.1  LB薄膜定义
    7.2.2  LB膜材料在亚相上的展开机理
    7.2.3  LB膜的沉积方法
    7.2.4  LB膜技术的特点
  7.3  溶胶-凝胶法
    7.3.1  溶胶-凝胶法定义
    7.3.2  溶胶-凝胶法工艺
    7.3.3  溶胶-凝胶法反应过程
    7.3.4  溶胶-凝胶法特点与应用
  思考题
第8章  纳米薄膜组装
  8.1  概述
  8.2  纳米薄膜技术
    8.2.1  纳米薄膜设计制备
    8.2.2  纳米薄膜释放过程
    8.2.3  纳米薄膜结构的构建
  8.3  面向电学和光学应用的纳米薄膜组装
    8.3.1  基于组装纳米薄膜的光电器件
    8.3.2  用于柔性和可穿戴电子产品的褶皱纳米薄膜
  8.4  纳米薄膜折纸结构
    8.4.1  用于三维器件的卷曲纳米薄膜
    8.4.2  用于智能器件的纳米薄膜折纸/剪纸结构
  8.5  仿生纳米薄膜
  8.6  纳米薄膜形式的二维材料
  8.7  小结
  思考题
第9章  薄膜的物理性质
  9.1  薄膜厚度的测量与监控
    9.1.1  薄膜厚度的测量
    9.1.2  薄膜厚度的监控
  9.2  薄膜的力学性质
    9.2.1  薄膜的附着力
    9.2.2  薄膜的内应力
    9.2.3  薄膜的硬度
  9.3  薄膜的电学性质
    9.3.1  薄膜电阻
    9.3.2  连续金属薄膜的电学性质
    9.3.3  非连续金属薄膜的电学性质
    9.3.4  薄膜的介电性质
  9.4  薄膜的光学性质
    9.4.1  特征矩阵
    9.4.2  减反膜
    9.4.3  反射膜
    9.4.4  滤光片
  思考题
第10章  薄膜材料及应用
  10.1  概述
  10.2  集成电路中的薄膜
    10.2.1  集成电路制造工艺概述
    10.2.2  介质层薄膜
    10.2.3  金属化
  10.3  薄膜晶体管
    10.3.1  薄膜晶体管概述
    10.3.2  薄膜晶体管类型
    10.3.3  薄膜晶体管工作原理和特性参数
    10.3.4  薄膜晶体管的应用
  10.4  铁电薄膜
    10.4.1  铁电性、热释电性和压电性
    10.4.2  铁电材料历史
    10.4.3  铁电材料及制备技术
    10.4.4  铁电滞回线
    10.4.5  铁电薄膜的应用
  10.5  薄膜太阳电池
    10.5.1  太阳电池的原理与特性
    10.5.2  非晶硅薄膜太阳电池
    10.5.3  铜铟镓硒薄膜太阳电池
    10.5.4  碲化镉薄膜太阳电池
  10.6  透明导电薄膜
    10.6.1  透明导电薄膜材料
    10.6.2  透明导电薄膜制备
    10.6.3  透明导电薄膜的电学与光学性能
    10.6.4  高价态掺杂透明导电氧化物薄膜
    10.6.5  透明导电薄膜的应用
  10.7  光催化薄膜
    10.7.1  半导体光催化概述
    10.7.2  TiO2光催化薄膜
    10.7.3  超亲水TiO2薄膜
    10.7.4  TiO2光催化薄膜的应用
  思考题
参考文献